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alwayslove銀蟲 (小有名氣)
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[求助]
【求助】DC磁控濺射NiFe開始能起輝但是打開擋板后不能起輝是什么原因？
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| 用得DC磁控濺射NiO沒有問題，采用的是金屬靶Ni。但是在用NiFe靶材的時候，氣壓0.3Pa,沒打開擋板能夠起輝，但是和之前師姐做的同樣的功率氣壓條件下用的同樣的靶材電壓要大50V，電流要小。打開擋板濺射時，電壓過大，甚至超過量程，電流變成0，輝光熄滅，關(guān)閉擋板同樣又有輝光。這是什么原因呢？ |
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zhouzh2011
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3樓2013-06-07 17:14:36
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