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690069175金蟲 (正式寫手)
頭兒
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[求助]
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| 磁控濺射用的射頻電源和陰極是一個(gè)概念嗎？射頻電源線接到的地方為什么又叫陰極？ |
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qfw_68
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690069175: 金幣+15, 博學(xué)EPI+1, ★★★★★最佳答案 2013-06-08 21:20:11
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參見： 3.射頻濺射 射頻濺射的兩個(gè)電極，既然是接在交變的射頻電源上，似乎就沒有陰極與陽極之分了。實(shí)際上射頻濺射裝置的兩個(gè)電極并不是對(duì)稱的。放置基片的電極與機(jī)殼相連，并且接地，這個(gè)電極相對(duì)安裝靶材的電極而言，是一個(gè)大面積的電極。它的電位與等離子相近，幾乎不受離子轟擊。另一電極對(duì)于等離子處于負(fù)電位，是陰極，受到離子轟擊，用于裝置靶材。 https://blog.sina.com.cn/s/blog_8955d0a50100zkwp.html |
2樓2013-06-07 10:15:27
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