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zsy1207333

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專(zhuān)業(yè): 金屬材料的力學(xué)行為

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6樓: Originally posted by 天之藍(lán)心 at 2013-06-09 12:13:34
看來(lái)是你的靶材有問(wèn)題。

歐萊的靶材質(zhì)量也不靠譜?

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一個(gè)男人的夢(mèng)想應(yīng)該是承擔(dān)起更大的責(zé)任

11樓2013-06-12 10:35:58

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wbcui

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【答案】應(yīng)助回帖

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5樓: Originally posted by zsy1207333 at 2013-06-09 10:24:25
多謝啦黑色東西挺多而且很長(zhǎng)時(shí)間不見(jiàn)減少，應(yīng)該是持續(xù)生成，剛換氣體沒(méi)反應(yīng)，應(yīng)該不是來(lái)自氣體。用的是擴(kuò)散泵。...

用擴(kuò)散泵做磁控濺射？
估計(jì)是擴(kuò)散泵油揮發(fā)到腔體內(nèi)，被碳化了吧？

有用擴(kuò)散泵做磁控濺射的？
我第一次聽(tīng)說(shuō)，我一直用分子泵的。

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12樓2013-06-12 11:17:05

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12樓: Originally posted by wbcui at 2013-06-12 11:17:05
用擴(kuò)散泵做磁控濺射？
估計(jì)是擴(kuò)散泵油揮發(fā)到腔體內(nèi)，被碳化了吧？

有用擴(kuò)散泵做磁控濺射的？
我第一次聽(tīng)說(shuō)，我一直用分子泵的。...

誰(shuí)知道他們選的泵我以前見(jiàn)也是用分子泵我摸了摸泵上半部分是涼的不熱啊只是下面貌似熱的連標(biāo)簽紙都要掉了,泵外面顏色都有點(diǎn)發(fā)灰了失去金屬光澤了像是被污染

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一個(gè)男人的夢(mèng)想應(yīng)該是承擔(dān)起更大的責(zé)任

13樓2013-06-15 20:10:51

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13樓: Originally posted by zsy1207333 at 2013-06-15 21:10:51
誰(shuí)知道他們選的泵我以前見(jiàn)也是用分子泵我摸了摸泵上半部分是涼的不熱啊只是下面貌似熱的連標(biāo)簽紙都要掉了,泵外面顏色都有點(diǎn)發(fā)灰了失去金屬光澤了像是被污染...

冷不冷和揮發(fā)不揮發(fā)沒(méi)什么關(guān)系
有可能是擴(kuò)散泵油分子跑到腔內(nèi)了

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14樓2013-06-15 23:05:31

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14樓: Originally posted by wbcui at 2013-06-15 23:05:31
冷不冷和揮發(fā)不揮發(fā)沒(méi)什么關(guān)系
有可能是擴(kuò)散泵油分子跑到腔內(nèi)了...

下來(lái)準(zhǔn)備先查查磁流體,昨天發(fā)現(xiàn)那里出了點(diǎn)問(wèn)題。先再次檢漏再說(shuō)。這個(gè)擴(kuò)散泵功率大，之前氣路漏氣都不影響真空。

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15樓2013-06-16 08:19:36

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15樓: Originally posted by zsy1207333 at 2013-06-16 09:19:36
下來(lái)準(zhǔn)備先查查磁流體,昨天發(fā)現(xiàn)那里出了點(diǎn)問(wèn)題。先再次檢漏再說(shuō)。這個(gè)擴(kuò)散泵功率大，之前氣路漏氣都不影響真空。...

磁流體？
在什么地方？

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16樓2013-06-16 20:45:52

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16樓: Originally posted by wbcui at 2013-06-16 20:45:52
磁流體？
在什么地方？...

就在腔體下面,有個(gè)傳動(dòng)軸,腔體內(nèi)工件架是旋轉(zhuǎn)的.貌似擴(kuò)散泵的功率是有點(diǎn)過(guò)大的,真空不存在問(wèn)題,但還是有雜質(zhì).

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17樓2013-06-17 08:07:09

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Smallpeng

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搞清楚那粉末是怎么回事了嗎？是不是偏黃色的TiN粉末呢，由于在其他地方結(jié)合力不好，從而脫落到到整個(gè)腔體呢?

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勇敢自信踏實(shí)，科研其實(shí)和生活是一樣一樣的

18樓2014-08-25 17:38:37

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zxy19871129

鐵蟲(chóng) (初入文壇)

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C肯定也是從油里面來(lái)的吧，有機(jī)物肯定有C的吧

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19樓2014-08-25 22:38:47

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小p子

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3樓: Originally posted by zsy1207333 at 2013-06-08 08:00:19
黑色物質(zhì)是不想要的,里面有氧(eds分析)...

貌似做eds都會(huì)有氧吧

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20樓2014-12-05 14:22:34

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