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zsy1207333鐵桿木蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
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[求助]
磁控濺射鍍膜 TiN氮化鈦 已有1人參與
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| 現(xiàn)在磁控濺射鍍膜遇到一個(gè)問(wèn)題，做氮化鈦，做完之后靶材和腔室里有灰黑色粉末，軟軟的，曾經(jīng)檢測(cè)過(guò)含氧，但處理了可能的問(wèn)題之后還是沒(méi)有什么變化，真空貌似沒(méi)問(wèn)題，用檢漏儀檢過(guò)的，運(yùn)行過(guò)程真空也保持得很好。氣路等都沒(méi)問(wèn)題，現(xiàn)在不知道怎么回事，不知哪位大神可以指點(diǎn)一二，非常感謝！ |
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12樓2013-06-12 11:17:05
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