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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控濺射鍍膜 TiN氮化鈦
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zsy1207333鐵桿木蟲 (著名寫手)
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[求助]
磁控濺射鍍膜 TiN氮化鈦 已有1人參與
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| 現(xiàn)在磁控濺射鍍膜遇到一個問題，做氮化鈦，做完之后靶材和腔室里有灰黑色粉末，軟軟的，曾經檢測過含氧，但處理了可能的問題之后還是沒有什么變化，真空貌似沒問題，用檢漏儀檢過的，運行過程真空也保持得很好。氣路等都沒問題，現(xiàn)在不知道怎么回事，不知哪位大神可以指點一二，非常感謝！ |
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 磁控濺射靶材資料大全 | Target and film | 薄膜材料和器件制備 |
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fuyadong01
禁蟲 (小有名氣)
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4樓2013-06-08 14:37:28
love_youheng
木蟲 (正式寫手)
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2樓2013-06-07 22:16:19
zsy1207333
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3樓2013-06-08 08:00:19
zsy1207333
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5樓2013-06-09 09:24:25
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