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zhuleyong新蟲(chóng) (初入文壇)
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[求助]
用溶膠凝膠法在硅片上旋涂薄膜出現(xiàn)問(wèn)題 已有2人參與
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我在乙二醇甲醚里溶解某種金屬的氯化物，然后70℃水浴加熱2h，制成0.1mol/L的溶液，在硅片（硅片買(mǎi)來(lái)后未做任何處理，觀察硅片表面很干凈，我的實(shí)驗(yàn)是在潔凈室中做的）上旋涂條件為：低轉(zhuǎn)速300轉(zhuǎn)/分，旋涂10s，接著高轉(zhuǎn)速1500轉(zhuǎn)/分，旋涂30s。剛旋涂好時(shí)硅片上的膜很好，很光滑，像鏡面一樣，如圖1；接著出現(xiàn)了問(wèn)題：膜表面開(kāi)始出現(xiàn)點(diǎn)，點(diǎn)慢慢增多，并擴(kuò)大，最后連在一起，如圖2，我想知道是什么原因?qū)е碌�，怎樣才能解決。希望你們能幫助我，非常感謝。 圖1.jpg 圖2.jpg |
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5樓2013-07-09 18:45:56
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