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[求助]
問一個(gè)簡單的問題，在GaAs基片上做外延，為什么都是在它的(001)面上？
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如題，在GaAs基片上做外延，為什么都是在它的(001)面上？ 其他半導(dǎo)體是什么面？為什么？謝謝回答 [ 來自小組 微納電子材料與器件 ] |
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【答案】應(yīng)助回帖
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感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
fbqrdzs: 金幣+5, 有幫助。 2013-06-14 10:16:49
Dreamerqu: 金幣+10, ★★★很有幫助 2013-06-14 10:17:00
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Dreamerqu: 金幣+10, ★★★很有幫助 2013-06-14 10:17:00
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籠統(tǒng)的講，是以下幾個(gè)原因吧： 1，（001）面基片最便宜。因?yàn)镚aAs原晶生長基本上都是沿001的（也有111方向的，缺陷控制上要困難一些），那么001面基片的切割是效率最高的，110和111方向都要傾斜切割。 2，（001）面生長技術(shù)是最成熟的。 3，取決與上面要外延長什么材料，需要什么性能，以及晶體的對稱性問題，001面是四次對稱的，普遍用于外延立方晶，四方晶，（110）面基片也有啊，這個(gè)方向上電子mobility比001要高，弛豫時(shí)間長等，但是這個(gè)面是兩個(gè)不等的二次對稱軸，晶體對稱性方面就有不同，生長高質(zhì)量的外延晶體比001具有更多的挑戰(zhàn)。（111）面是六次對稱，有有差異了。 |
2樓2013-06-14 04:30:49
3樓2013-06-14 10:16:43
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