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半導(dǎo)體薄膜制備及加工技術(shù)實(shí)驗(yàn)室

磁控濺射、電子束蒸鍍制備金屬薄膜Au,Ag,Al,Cu,Cr,Fe,Mo,Ni,非金屬薄膜Al2O3,AZO,ITO,Si,SiO2,Si3N4,ZnO；IBE、RIE、WE刻蝕加工

聯(lián)系人: 趙工 / 郵箱: zyy44138172@126.com / 手機(jī): 15108299816

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foxs2

木蟲(chóng) (文壇精英)

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我室為專門的薄膜制備與刻蝕加工實(shí)驗(yàn)室，擁有多臺(tái)大型磁控濺射、電子束蒸鍍、LPCVD設(shè)備�？慑僊o、Au、Ag、Al、Cu、Cr、Fe、Ni等金屬薄膜和Si、SiO2、Si3N4、Al2O3、AZO、ZnO、ITO等非金屬薄膜，厚度一般在10~1000nm。加工TCO透明導(dǎo)電膜�？商峁┎Ａ⒐杵�，若選其他基底請(qǐng)自備。
提供RIE、IBE、WE等全套刻蝕加工服務(wù)，可刻蝕各種金屬、非金屬圖形結(jié)構(gòu)。非金屬材料一般用RIE，金屬常用IBE，刻蝕面積最大可為150mm直徑。提供石英基底、硅基底壓印模板加工。

趙工壹伍壹零捌貳玖玖捌壹陸 zyy44138172@126.com

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1樓 2013-06-15 06:00:29

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橡膠人

榮譽(yù)版主 (文壇精英)

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39樓2013-06-15 08:50:51

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gzl9901

鐵桿木蟲(chóng) (文壇精英)

very good

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2樓2013-06-15 06:25:11

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