磁控濺射、電子束蒸鍍制備金屬薄膜Au,Ag,Al,Cu,Cr,Fe,Mo,Ni,非金屬薄膜Al2O3,AZO,ITO,Si,SiO2,Si3N4,ZnO；IBE、RIE、WE刻蝕加工
聯(lián)系人: 趙工 / 郵箱: zyy44138172@126.com / 手機: 15108299816
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foxs2
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[商家供應]
提供鍍膜、刻蝕加工
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我室為專門的薄膜制備與刻蝕加工實驗室，擁有多臺大型磁控濺射、電子束蒸鍍、LPCVD設(shè)備�？慑僊o、Au、Ag、Al、Cu、Cr、Fe、Ni等金屬薄膜和Si、SiO2、Si3N4、Al2O3、AZO、ZnO、ITO等非金屬薄膜，厚度一般在10~1000nm。加工TCO透明導電膜�？商峁┎Ａ�、硅片基底，若選其他基底請自備。 提供RIE、IBE、WE等全套刻蝕加工服務，可刻蝕各種金屬、非金屬圖形結(jié)構(gòu)。非金屬材料一般用RIE，金屬常用IBE，刻蝕面積最大可為150mm直徑。提供石英基底、硅基底壓印模板加工。 趙工 壹伍壹零捌貳玖玖捌壹陸 zyy44138172@126.com [ Last edited by foxs2 on 2016-1-19 at 15:22 ] |
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foxs2(金幣+1): 謝謝參與
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431樓2013-12-18 13:10:43
gzl9901
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2樓2013-06-15 06:25:11
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