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半導(dǎo)體薄膜制備及加工技術(shù)實(shí)驗(yàn)室

磁控濺射、電子束蒸鍍制備金屬薄膜Au,Ag,Al,Cu,Cr,Fe,Mo,Ni,非金屬薄膜Al2O3,AZO,ITO,Si,SiO2,Si3N4,ZnO；IBE、RIE、WE刻蝕加工

聯(lián)系人: 趙工 / 郵箱: zyy44138172@126.com / 手機(jī): 15108299816

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foxs2

木蟲 (文壇精英)

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我室為專門的薄膜制備與刻蝕加工實(shí)驗(yàn)室，擁有多臺(tái)大型磁控濺射、電子束蒸鍍、LPCVD設(shè)備�？慑僊o、Au、Ag、Al、Cu、Cr、Fe、Ni等金屬薄膜和Si、SiO2、Si3N4、Al2O3、AZO、ZnO、ITO等非金屬薄膜，厚度一般在10~1000nm。加工TCO透明導(dǎo)電膜�？商峁┎Ａ�、硅片基底，若選其他基底請(qǐng)自備。
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趙工壹伍壹零捌貳玖玖捌壹陸 zyy44138172@126.com

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1樓 2013-06-15 06:00:29

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pzx1004

★
foxs2(金幣+1): 謝謝參與

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496樓2014-01-27 18:51:45

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gzl9901

鐵桿木蟲 (文壇精英)

very good

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2樓2013-06-15 06:25:11

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