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請(qǐng)教AFM進(jìn)行表面粗糙度測(cè)量后的數(shù)據(jù)參數(shù)表示什么意義？謝謝
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我用AFM進(jìn)行樣品表面粗糙度測(cè)量后除了圖片還得到一些參數(shù)，如下： Image Statistics Img. Z range 106.53 nm Img. Mean -0.0000002nm Img. Rms (Rq) 12.999nm Img. Ra 10.116nm Box Statistics Box x dimension Box y dimension 我想請(qǐng)教給位朋友： 這些參數(shù)分別表示什么？尤其是Z range, Mean, Rms, Ra? 非常感謝~ |
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