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Angusskanal木蟲 (小有名氣)
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[求助]
請(qǐng)問(wèn)CVD法在銅上長(zhǎng)的石墨烯（graphene），是不是不能應(yīng)用于互連（interconnects）？
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如題， 第一個(gè)難點(diǎn)，好像CVD法在銅上只能長(zhǎng)一、兩層，長(zhǎng)不了更多層。而互連必須是多層才能電阻率低，所以不能應(yīng)用，是嗎？請(qǐng)問(wèn)有什么解決辦法嗎？ 第二個(gè)難點(diǎn)，好像CVD法在銅上生長(zhǎng)的溫度太高，而互連可接受的溫度不高，所以不能用。請(qǐng)問(wèn)有什么解決辦法嗎？ 謝謝 |
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