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六月彩空木蟲 (小有名氣)
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[求助]
在哪可以加工銅基微納米結(jié)構(gòu)
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| 各位大蟲，我想加工刻蝕一些銅基微納米結(jié)構(gòu)，即在紫銅片表面的垂直方向上刻蝕得到圓柱陣列。圓柱截面尺寸介于200-1000nm，相鄰柱體距離介于200-1000nm，柱高（即槽深）100nm以上，要求形貌清晰。請(qǐng)問國(guó)內(nèi)有哪些公司或高校接受代加工？除了電子束刻蝕，還有哪些方法可以做？如果將銅片表面涂覆一層石墨之后再制作微納米結(jié)構(gòu)，上述方法是否還可行？不勝感激！ |
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六月彩空
木蟲 (小有名氣)
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送紅花一朵 |
感謝您的回復(fù)。 1、我的課題條件具備電子束曝光（Electron Beam Lithography）系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)微納米結(jié)構(gòu)的制作； 2、我需要制作不同微納米尺寸結(jié)構(gòu)用于比較，限于電子束曝光工藝效率低的不足，對(duì)于制備較大面積的微納米結(jié)構(gòu)，因此我需要考慮別的效率高的光刻工藝來實(shí)現(xiàn)，如紫外光刻等。不知貴公司是否有這樣類似的條件或設(shè)備？ 3、用于制備微納米結(jié)構(gòu)的紫銅面積約為1平方英寸； 4、限于知識(shí)狹窄，請(qǐng)問stepper指的是哪種設(shè)備或是工藝？ 5、銅片表面僅是實(shí)驗(yàn)室拋光處理； 6、您能夠提供更為有效的聯(lián)系方式么，比如QQ或是辦公電話？ |
5樓2013-06-27 18:20:48
yswyx 
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【答案】應(yīng)助回帖
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
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1. 你這個(gè)要求好高，要做好花大錢的準(zhǔn)備，沒個(gè)十萬八萬的，就放棄吧。 2. 是電子束光刻，不是電子束刻蝕，完全是兩回事。 3. 高校就別想了，沒人愿意找麻煩。研究所也就納米所可能會(huì)接。公司的話，你短信我，不做廣告。 4. 你的要求里面還缺非常多的定義，比如垂直度，精度，面積，等等。 5. 1um以下的，可以考慮stepper。也就是說你列出的尺寸，跨越了兩種方法，要做取舍。 6. 銅片表面質(zhì)量你自己是否有手段保證，這可能比微納加工還麻煩。 7. 涂覆石墨暫時(shí)無法評(píng)估，需要了解涂覆的方法，目的等。簡(jiǎn)單想想，會(huì)極其困難。這就需要當(dāng)做項(xiàng)目開發(fā)做了，經(jīng)費(fèi)需求極大。 |
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2樓2013-06-26 23:49:30
semi-white
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3樓2013-06-27 10:35:41
六月彩空
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4樓2013-06-27 18:02:17
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