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chery2005銅蟲 (初入文壇)
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[求助]
AE 電源問題(ATX-600)
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| 我們磁控濺射用的是AE公司的電源,不知為何濺的好好的,中途突然DC-bias 變?yōu)? ,但是功率和反饋功率都是好好的,之后降下功率,重新啟動,再也不起輝了,大家知道是什么原因嗎。還有就是以前好幾次,都沒法起輝,功率和反饋功率一直相等,沒有偏壓。求大家?guī)椭。感謝萬分! |
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