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小木蟲論壇-學(xué)術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 功能材料 » 功能薄膜 » PVD鍍膜
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xin616金蟲 (小有名氣)
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[求助]
PVD鍍膜
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大家好，最近在做PVD，遇到幾個問題，望高手指點： 1 磁控濺射的PVD，Mask表面是絕緣的嗎？表面有沒有什么特殊的膜層？ 2 ground shield與Mask形成一個Plasma的環(huán)境，ground shield表面有絕緣膜層嗎？還是本身就是絕緣的？ 3 Arcing是Target表面聚集Ar離子導(dǎo)致的，但是Arcing最終是怎么釋放的？ 如果以上問題有相關(guān)的文獻(xiàn)資料，請附上，金幣多多，期待高手答疑解惑。。。 |
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【答案】應(yīng)助回帖
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蔣青松: 金幣+1, 鼓勵交流 2013-06-28 19:41:39
xin616: 金幣+5, ★有幫助, mask是陽極罩，其材質(zhì)應(yīng)該是金屬的，表面是否有氧化物絕緣？ 覆蓋不到電極部分啊，中間還有O-ring啊，Arcing是電荷聚集的結(jié)果，Ar離子打入靶材時不就帶電荷嗎？ 2013-07-06 20:00:10
xin616: 回帖置頂 2013-07-06 20:00:21
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xin616: 回帖置頂 2013-07-06 20:00:21
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你自己這說的不明不白的。 mask 這個詞在半導(dǎo)體工業(yè)用到的很多，而且不同環(huán)境意思不同。你這個太模糊了。我個人感覺你是不是說得陽極罩阿？還是你樣品的那個mask? PVD機(jī)器里面沒有什么涂層，即便有涂層也造就被覆蓋了，沒啥用。 Arcing 是電荷聚集的結(jié)果，跟Ar 關(guān)系不大。 |
2樓2013-06-28 15:47:37
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