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北京石油化工學(xué)院2026年研究生招生接收調(diào)劑公告

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jy1036

新蟲(chóng) (初入文壇)

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[求助] 在高真空下，加熱四個(gè)九純度的硅顆粒還是被氧化了呢

有沒(méi)有人知道，在真空度為負(fù)4的情況下，加熱蒸發(fā)純度為四個(gè)九的硅顆粒到石墨片上，產(chǎn)物里還是有二氧化硅呢？現(xiàn)在正在找方法，已經(jīng)研二下學(xué)期了，還是做得不好，怎么辦？求高手指點(diǎn)��！

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1樓 2013-06-28 01:07:35

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cord

鐵桿木蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)

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【答案】應(yīng)助回帖

腔室的吸附會(huì)降低你的真空度，需要等一段時(shí)間才能回到負(fù)4真空度。
蒸發(fā)硅過(guò)程中，真空度剛開(kāi)始變低是高溫下硅顆粒的放氣以及腔室在高溫下放氣。后來(lái)真空度變高可能是硅跟殘留的氣體的反應(yīng)，所以你得到的是氧化物的硅而不是硅本身。
這個(gè)或許可以說(shuō)你的腔室真空度不夠，或者在蒸發(fā)硅所需要的溫度條件下腔室本身?xiàng)l件達(dá)不到要求。

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4樓2013-06-28 22:06:47

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cord

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【答案】應(yīng)助回帖

感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1

負(fù)4的真空度不是高真空，氧的含量還是很高。要將硅顆粒蒸發(fā)，加熱溫度得很高，加熱之后腔室，舟等得放氣就達(dá)不到負(fù)4真空度了吧。
可以抽到負(fù)4之后，通入高純的氮?dú)饣蛘邭鍤�，在抽走，在通氣，�?lái)回幾次。
或者可以的話(huà)在高純氮?dú)饣蛘邭鍤夥諊姓舭l(fā)硅。

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2樓2013-06-28 01:56:37

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引用回帖:

2樓: Originally posted by cord at 2013-06-28 01:56:37
負(fù)4的真空度不是高真空，氧的含量還是很高。要將硅顆粒蒸發(fā)，加熱溫度得很高，加熱之后腔室，舟等得放氣就達(dá)不到負(fù)4真空度了吧。
可以抽到負(fù)4之后，通入高純的氮?dú)饣蛘邭鍤�，在抽走，在通氣，�?lái)回幾次。
或者可以 ...

我現(xiàn)在就在嘗試通入氬氣蒸發(fā)呢，就像你說(shuō)的那樣通入氬氣再抽走，不過(guò)我想請(qǐng)教一下，我在通入氬氣的過(guò)程中分子泵一直沒(méi)有關(guān)，就是通入氬氣就被抽走了，可是為什么真空度就是抽不到原來(lái)那樣負(fù)4呢？？還有一個(gè)問(wèn)題我一直很納悶，我在加熱蒸發(fā)硅顆粒的過(guò)程中，真空度剛開(kāi)始會(huì)變低，但是后來(lái)保持在硅顆粒蒸發(fā)的溫度下，真空度會(huì)變高的，有的時(shí)候甚至能到負(fù)5的，這個(gè)不好解釋��？？？

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3樓2013-06-28 11:24:48

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dabingbxm

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-4你是指的什么單位？mbar?實(shí)話(huà)實(shí)說(shuō)-4一般并不稱(chēng)為高真空。-7，-8的話(huà)你說(shuō)是高真空或者超高真空倒是差不多。很多材料的加熱過(guò)程一般都伴隨放氣過(guò)程，真空變差再變好這是很正常不過(guò)的事情。類(lèi)似的比如說(shuō)金屬鈦，Ge等等相應(yīng)的都會(huì)有。

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5樓2013-06-28 22:17:37

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