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[求助]
激光直寫技術(shù)最小能刻到多細(xì)
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| 請(qǐng)問(wèn)一下現(xiàn)在激光直寫技術(shù)最小能刻到多細(xì)，100nm能達(dá)到嗎？哪個(gè)地方有這種設(shè)備。謝謝 |
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9樓2013-07-03 15:23:27
uvwxmc
金蟲 (正式寫手)
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【答案】應(yīng)助回帖
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感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
華麗的飄過(guò): 金幣+2, 3q 2013-07-03 03:24:21
xx4751: 金幣+10, ★有幫助 2013-07-10 19:13:55
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可見(jiàn)光最短波長(zhǎng)是390nm，怎么可能聚焦到100nm呢。 為啥要求‘直寫’呢？直寫精度不只是焦斑直徑的問(wèn)題，還有掃描精度問(wèn)題。 光刻實(shí)現(xiàn)100nm級(jí)別以下的圖形精度，都得用短波長(zhǎng)波束，X光，深紫外，電子束等等。 |
2樓2013-07-02 23:28:48
3樓2013-07-03 08:28:36
4樓2013-07-03 09:07:41
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