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sunwh_cool木蟲 (正式寫手)
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[求助]
ZnO傳感器穩(wěn)定性 已有1人參與
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大家好，小弟近日用水熱法生長(zhǎng)ZnO陣列，做氣體傳感器。 種子層是ZnO 溶膠做的，把Si襯底（襯底上已經(jīng)濺射有電極）泡在溶膠中2min，再350度加熱，重復(fù)3次。然后再在0.02M反應(yīng)液中生長(zhǎng)。生長(zhǎng)后加熱到200度-400度測(cè)氣敏性。 可問題是，在測(cè)試過程中，阻值會(huì)不停的增加，如果繼續(xù)加熱，阻值會(huì)大于120M，超出萬用表的量程。剛開始加熱時(shí)的阻值只有500k的樣子，為什么會(huì)這樣？薄膜加熱裂開了嗎？應(yīng)該怎么改善呢？請(qǐng)各位多多幫忙！！  |
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wiseroy
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3樓2013-07-06 19:23:49
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2樓2013-07-03 15:21:12
dearmaximus
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5樓2019-11-20 06:13:25
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