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磁控濺射時基片位于負輝光區(qū)嗎？
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我看葉志鎮(zhèn)書上事這么寫的，那基片后面是有一塊陽極嗎？ 靶原子射出來后是怎么飛行到基片上的，是靠氬氣傳給它的能量嗎？ [ 發(fā)自手機版 http://www.gaoyang168.com/3g ] |
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