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[求助]
求助！~電鍍金出現(xiàn)黑色顆粒 已有1人參與
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Hey all, 在Si wafer上電鍍上金結果鍍出來的都是黑色的顆粒狀，一點一點的，吸附力也不強，手一摸就掉了，請問大神們這是怎么回事啊TAT 我先在硅片上用蒸發(fā)（evaporation）鍍了一層Cr再在上面鍍了一層金，然后用SU-8 2050 作為光刻材料，得到面積為19.13mm^2的圖案，厚度希望是50 um，用的是脈沖電鍍，參數(shù)如下 正向(fwd) 反向（rev） I=4mA I=16mA 持續(xù)時間 100ms 持續(xù)時間10ms Ton= 2ms Ton=1ms Toff= 1ms Toff=0.5ms 有效電流是1.8mA 鍍了五分鐘拿出來看了一下就變這樣了，顯微鏡拍了照片給大家做下參考。。 求各位大神幫忙��！~  有人告訴我要減小電流，請問具體要減小到多少？另外參數(shù)中有任何不妥也請大家提出來，謝謝！ 圖案里的小黑點就是電鍍的金。。 3.jpg [ Last edited by lodgezhao on 2013-7-18 at 04:23 ] |
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2樓2018-08-17 21:52:42
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