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honey7213

銅蟲 (小有名氣)

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[求助] 太陽能級硅片相關(guān)問題的咨詢

太陽能級硅片的表面精度要求要比IC級硅片低一些，但是太陽能級硅片在切片之后還需要一道制絨的工序，而硅片表面精度對制絨的效果有沒有什么影響？
也就是說，硅片表面粗糙度更低，會不會后面的制絨效果會更好？

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1樓 2013-07-21 09:23:37

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civicli

銀蟲 (小有名氣)

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專業(yè): 半導(dǎo)體材料

【答案】應(yīng)助回帖

★ ★
honey7213(fbqrdzs代發(fā)): 金幣+2, 歡迎交流 2013-08-13 09:37:41

你好，不知你所說的制絨是不是在表面上蝕刻出倒三角這一工藝。如果是的話我個人認為表面粗糙度相對低些應(yīng)該會得到更好些的效果，主要原因是制作倒三角主要是因為硅的（111）面反應(yīng)速率較慢，所以才出現(xiàn)倒三角結(jié)構(gòu)，而且在機械制造中表面粗糙度越低意味著精度越高，也就是表面更平整，在平整的表面上蝕刻出的倒三角應(yīng)該具有更好的幾何形態(tài)和更高的周期性。但是較低的粗糙度，意味著更高的成本！
以上只是個人的拙見，希望對LZ有幫助！

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回復(fù)此樓

2樓2013-08-12 22:44:34

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