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用掃描電鏡看薄膜截面時的基底影響問題求助
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| 實(shí)驗(yàn)中用掃描電鏡看薄膜截面時，玻璃基底不知怎的老是發(fā)亮光，而且聚焦時由于發(fā)生漂移而無法成功聚焦得到清晰的薄膜斷面圖像，而看到文獻(xiàn)中報道的的薄膜器件截面圖都很清晰，請問該問題是什么原因造成的？操作電鏡或樣品制備過程中如何避免呢？謝謝！ |
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gxytju2008
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2樓2013-08-15 16:40:24
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謝謝回復(fù)。關(guān)于“發(fā)亮光”，我可能描述的不太準(zhǔn)確，但我也不知道怎么描述好些，總之感覺玻璃部分發(fā)白色亮光。我的薄膜樣品本身是半導(dǎo)體，因此沒有噴金，看表面沒有問題，很清晰，但截面就不行。我們觀察截面時是將樣品垂直放置即截面水平，實(shí)際還是測表面（將玻璃襯底一側(cè)用雙面膠垂直粘在樣品臺上的，膠帶應(yīng)該是導(dǎo)電膠帶）。 如果按你說的電流需要導(dǎo)到樣品臺上，那恐怕我制樣還是有問題，因?yàn)椴ＡП旧聿粚?dǎo)電。但是這樣的話，為什么薄膜表面觀察時卻沒問題呢，測表面時薄膜和導(dǎo)電膠之間也是隔著玻璃的啊，電流恐怕也不能傳到樣品臺上。 |
3樓2013-08-15 17:00:49
4樓2013-08-15 17:03:03
gxytju2008
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5樓2013-08-15 17:13:47
6樓2013-08-15 17:34:43
vincentwz
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8樓2013-08-16 22:32:17
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9樓2013-08-16 22:43:55
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