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小木蟲論壇-學術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » 烘烤后lift-off問題
| 查看: 2964 | 回復: 18 | |||
[求助]
烘烤后lift-off問題
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| 本人新做工藝，用的是Si基，光刻后再蒸發(fā)金。由于初做工藝不懂，光刻時堅膜了，現(xiàn)在用丙酮lift-off，很難剝離。大家有什么好的解決辦法呢？非常感謝！ |
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qingpingzi
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