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PLD準(zhǔn)分子激光器
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| 激光器的光斑匯聚到靶面出現(xiàn)了分塊，而在反光鏡、聚焦境和石英窗上觀察不到分塊。石英窗內(nèi)側(cè)出現(xiàn)黑斑。分塊的原因和黑斑是否有關(guān)系，光斑分塊對(duì)薄膜沉積是否有影響，怎么樣解決？ |
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2樓2013-08-26 14:09:07
air_fish
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3樓2015-10-10 19:15:22
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