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蔣圣偉鐵蟲 (正式寫手)
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[求助]
石墨烯薄膜怎么刻蝕
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| 有人做過石墨烯薄膜刻蝕嗎？用的是什么刻蝕方法？光刻膠的選擇對(duì)刻蝕的影響大嗎 |
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 薄膜材料的表征 | 薄膜材料和器件制備 |
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4樓2013-08-29 19:23:07
蔣圣偉
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樓主還在嗎？我用RIE刻蝕石墨烯，用膠AZ5214不行啊，氧等離子體打到膠后，感覺膠變性了，用丙酮死活去不掉。請(qǐng)問樓主怎么刻蝕的？ 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
10樓2016-12-27 09:19:26
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