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cishitianya銀蟲(chóng) (小有名氣)
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[求助]
MPCVD
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請(qǐng)教哪位蟲(chóng)友用過(guò)ASTeX型反應(yīng)器（裝置有點(diǎn)落后，應(yīng)該不是研究的熱點(diǎn)了），用于等離子體化學(xué)氣相沉積。本人急于確定課題方向，可是無(wú)人指點(diǎn)，裝置可以放電，但是一大堆問(wèn)題：1、本低氣壓幾pa（需不需要分子泵）。2、通Ar能達(dá)到200pa，（不知道有沒(méi)有必要做Ar放電）3，沒(méi)法檢測(cè)凡是功率。4、不知道該如何調(diào)節(jié)天線、活塞、托臺(tái)的位置。5、改變氣壓、功率放電不穩(wěn)定，關(guān)鍵是放點(diǎn)位置不固定，不是像文獻(xiàn)上所說(shuō)的放點(diǎn)球，檢測(cè)豈不是成了大問(wèn)題。 謝謝，請(qǐng)高人指點(diǎn)。 |
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金蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
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【答案】應(yīng)助回帖
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cishitianya: 金幣+20, ★★★很有幫助 2013-09-03 11:32:26
cishitianya: 金幣+20, ★★★很有幫助 2013-09-03 11:32:26
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放電氣壓太低，ASTeX型反應(yīng)器放電氣壓一般是幾個(gè)kPa。 不知道你的裝置最大輸出功率是多少？ |
» 本帖已獲得的紅花（最新10朵）
2樓2013-09-03 10:35:47
cishitianya
銀蟲(chóng) (小有名氣)
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送紅花一朵 |
首先謝謝你的回復(fù)。 1、功率200~1000可調(diào)，功率的波動(dòng)讓人捉摸不透，有時(shí)幾瓦的變化，有時(shí)幾十瓦變化，估計(jì)和水溫和工作時(shí)間有關(guān)；我們也沒(méi)有微波功率計(jì)，不知道如何使耦合到腔室內(nèi)的功率最大？ 2、導(dǎo)師也讓測(cè)個(gè)幾千瓦試試，可是不知道要安裝什么閥門(mén)控制使抽氣減少？即使在20Pa~200pa的氣壓范圍內(nèi)，也不是就一直放電？ 3、天線、活塞、托臺(tái)該如何合理調(diào)節(jié)才可以出現(xiàn)等離子體球？我看文獻(xiàn)有本低氣壓10-3pa的，是不是還需要分子泵？ 4、另外，老師能否給一些參考文獻(xiàn)或者書(shū)籍，好像介紹這種裝置的文獻(xiàn)很少。 再次感謝！ |
3樓2013-09-03 11:31:44
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