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泵油可以反復(fù)過濾后重復(fù)使用嗎，原子層沉積系統(tǒng)的真空抽不了，已排除漏氣可能 已有3人參與
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原子層沉積系統(tǒng)配備的阿爾卡特旗下公司的油泵突然間真空就一點(diǎn)兒也抽不動(dòng)了，可能是未反應(yīng)掉的源二茂鐵進(jìn)入到了油泵中，那么把其過濾后泵油是不是可以反復(fù)用呢？ 但同時(shí)油中可能還會(huì)有三甲基鋁，三甲基鎘和硫代乙酰胺，這樣子過濾操作會(huì)不會(huì)有什么危險(xiǎn)？ |
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費(fèi)姚永芬
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2樓2013-09-04 11:00:23
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4樓2013-09-05 01:20:54
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7樓2015-03-25 15:04:49
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8樓2015-04-29 09:23:06
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