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[交流]
怎么測(cè)量CMP加工中，材料的去除率呢 已有1人參與
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| 有人知道如何方便的測(cè)量，化學(xué)機(jī)械拋光中材料的去除量。在納米，微米量級(jí)。我之前用的是測(cè)重量的方法。但是不太精確 |
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- 怎么測(cè)量CMP加工中，材料的去除率呢（納米/微米級(jí)去除）
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fyl1989
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2樓2013-09-26 15:41:48
3樓2013-09-26 20:42:03
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4樓2013-09-27 07:30:17
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fyl1989
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小木蟲: 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖
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屬于半導(dǎo)體的話，如果拋光機(jī)沒(méi)有在線的終點(diǎn)檢測(cè)，可以利用壓臺(tái)階來(lái)測(cè)量，不過(guò)前提是必須有臺(tái)階儀，或者可以利用光學(xué)方法，如白光干涉儀或橢偏儀，不過(guò)就我所知道的，白光干涉儀可以測(cè)量金屬氧化物、氮化物，前期是必須知道被測(cè)材料的折射系數(shù)，橢偏的話就更復(fù)雜了。。不知你們那有這些設(shè)備么，或是可以去其他學(xué)院或?qū)W校測(cè)，不過(guò)做CMP測(cè)厚度是經(jīng)常的，如果跨校了就不方便了！ |
6樓2013-09-27 13:18:18
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