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dingdings金蟲(chóng) (小有名氣)
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[求助]
微流控芯片 小通道做不好。
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| 我們的微流控芯片用光刻法做的，寬度是30μm，在硅片上顯影后通道非常好，但用PDMS澆注后明顯發(fā)現(xiàn)通道一起被扯下來(lái)，請(qǐng)教大家這種小通道芯片的做法有沒(méi)有什么絕招？ 是否SU-8膠不能加熱太長(zhǎng)時(shí)間，我們一般是95℃，2-3min。 |
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10樓2013-10-17 10:18:42
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2樓2013-09-05 04:36:49
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release53: 金幣+1, 感謝對(duì)蟲(chóng)友的幫助~~~ 2013-09-08 15:05:49
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第一 你只說(shuō)了寬度是30um，沒(méi)有提到高度，這個(gè)是很關(guān)鍵的； 第二 su8膠一般都要2min烘烤時(shí)間 要不鉸鏈不好，這個(gè)時(shí)間是沒(méi)有問(wèn)題的 第三，脫落一種原因是表面和PDMS粘附力太好或者是SU-8與基地粘附力太差，可以考慮增粘 一般好像用HMDS 另外，pdms是硅烷類(lèi)材料吧 如果表面硅烷化是不是更加粘附在一起了 這個(gè)不太懂 |
4樓2013-09-05 13:47:32
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5樓2013-09-08 13:06:53
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【答案】應(yīng)助回帖
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寬度30um 高度100um的話屬于深寬比三點(diǎn)多，相對(duì)來(lái)說(shuō)屬于高深寬比了哈，尤其是對(duì)于注塑來(lái)說(shuō)，增粘膠與基地的粘附性不如防粘來(lái)得好！ 第二PDMS我這也經(jīng)常用，你說(shuō)的是對(duì)結(jié)構(gòu)表面也進(jìn)行了硅烷化后才進(jìn)行模具制備的是吧？ PDMS是硅膠的一種，我是說(shuō)那層材料是不是會(huì)和PDMS反應(yīng)形成偶聯(lián)什么的，常規(guī)防粘處理的都是含F(xiàn)離子的材料！ |
6樓2013-09-08 17:17:00
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suruiqin: 屏蔽內(nèi)容, 屏蔽，存在廣告嫌疑 2013-10-14 05:24:41
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7樓2013-09-28 17:20:01
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9樓2013-10-15 23:05:18
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