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lianglei至尊木蟲 (正式寫手)
逐夢(mèng)小蟲
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[求助]
分子束外延生長(zhǎng)氧化物
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請(qǐng)問(wèn)外延生長(zhǎng)的條件，從晶格匹配角度，一定要求外延膜晶胞參數(shù)a=基底的晶胞參數(shù)，或基底的晶胞參數(shù)的sqrt2倍嗎（如果外延膜與基底均為立方結(jié)構(gòu)，相當(dāng)于對(duì)角線堆積）？ 如果外延膜晶胞參數(shù)a=基底3/4倍，或者2/3倍不可以嗎？ [ 來(lái)自小組 鋰電池世界 ] |
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lijunjie84: 金幣+1, 感謝參與！ 2013-09-27 11:00:11
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| 實(shí)際要生長(zhǎng)晶體，怎么可能晶格常數(shù)是這樣的倍數(shù)呢。所生長(zhǎng)材料所基底相差小當(dāng)然好，如果不好，就要想辦法減小這樣的不良匹配，從而獲得好的晶體質(zhì)量。像常用的可以采用適當(dāng)?shù)木彌_層，從而減小失配。分子束外延只是設(shè)備的一個(gè)名稱，能否做到真正的外延生長(zhǎng)還要看你的條件是否合適�；字皇且环矫�。條件不合適同質(zhì)外延也不一定得到好的晶體。 |
2樓2013-09-08 20:48:26
lianglei
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3樓2013-09-08 22:12:43
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4樓2013-09-09 00:02:49
lianglei
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5樓2013-09-09 02:05:48
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你說(shuō)的這種生長(zhǎng)取向其實(shí)有，但不同材料不一定，因?yàn)檫�要考慮其他因素，比如能量，哪種方式最容易長(zhǎng)上第一層原子。 標(biāo)準(zhǔn)的外延為同質(zhì)外延，比如Si外延Si。異質(zhì)外延需要晶格常數(shù)很接近，比如GaInP/GaAs，否則會(huì)因失配出現(xiàn)很多缺陷甚至裂膜。 這種對(duì)角線生長(zhǎng)界面會(huì)有懸掛鍵，容易出現(xiàn)位錯(cuò)，甚至由于晶胞的對(duì)稱性產(chǎn)生孿晶、疇等缺陷。 |
6樓2013-09-09 08:28:10
lianglei
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7樓2013-09-09 17:53:08
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如果你的基底和材料都是立方結(jié)構(gòu)的話 應(yīng)該能實(shí)現(xiàn)外延生長(zhǎng) 生長(zhǎng)面內(nèi)的方向關(guān)系為：基底[110]方向平行于材料[100]方向 晶格失配很小 ps：晶格失配很大也可能實(shí)現(xiàn)異質(zhì)外延 例如c-plane 藍(lán)寶石上生長(zhǎng)c-plane 氧化鋅 晶格失配大約18% 這種情況下一般是domain matching epitaxy 另外就是引入緩沖層進(jìn)行生長(zhǎng) |
8樓2013-09-10 13:52:33
lianglei
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9樓2013-09-10 17:39:28
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10樓2013-09-10 20:04:13
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