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sunwh_cool木蟲 (正式寫手)
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[求助]
有沒有比較耐高溫的光刻膠呢
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我想在有光刻膠的情況下，在襯底的指定位置（用光刻膠控制區(qū)域）旋涂點(diǎn)溶液，然后加熱讓溶質(zhì)能和襯底接觸牢固一點(diǎn)，再把光刻膠去除。這樣可行嗎，加熱溫度控制在100度左右吧。 我們用的光刻膠超聲都掉不了，是加熱時(shí)間太長(zhǎng)了吧，請(qǐng)求幫助啊！最好不超聲也可以洗掉的光刻膠，或者有其他辦法嗎？ |
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2樓2013-09-13 12:41:30
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3樓2013-09-13 13:40:58
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【答案】應(yīng)助回帖
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200℃3h都沒問題的。。。。。 不知道你們用的什么光刻膠，如何去膠的？ 去膠不干凈與加熱時(shí)間關(guān)系不太大，主要還是去膠液成分比例。 我們用的最多的是蘇州瑞紅的Su-8， 去膠用專門的去膠液，泡一會(huì)（幾分鐘）就掉了，無需超聲，去膠很徹底。 |
4樓2013-09-13 13:49:13
靜靜一yi
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5樓2013-09-24 22:17:59
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6樓2014-01-08 19:10:06
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