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cishitianya銀蟲(chóng) (小有名氣)
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[求助]
微波等離子體化學(xué)氣相沉積
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請(qǐng)教哪位蟲(chóng)友用過(guò)ASTeX型反應(yīng)器（裝置有點(diǎn)落后，應(yīng)該不是研究的熱點(diǎn)了），用于等離子體化學(xué)氣相沉積。本人急于確定課題方向，可是無(wú)人指點(diǎn)，裝置可以放電，但是一大堆問(wèn)題：1、本低氣壓幾pa（需不需要分子泵）。2、通Ar能達(dá)到200pa，（不知道有沒(méi)有必要做Ar放電）3，沒(méi)法檢測(cè)凡是功率。4、不知道該如何調(diào)節(jié)天線、活塞、托臺(tái)的位置。5、改變氣壓、功率放電不穩(wěn)定，關(guān)鍵是放點(diǎn)位置不固定，不是像文獻(xiàn)上所說(shuō)的放點(diǎn)球，檢測(cè)豈不是成了大問(wèn)題。6、除了用SEM和SFM檢測(cè)外還可以用吧寫(xiě)方法診斷。 謝謝，請(qǐng)高人指點(diǎn)。 |
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