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靜哥哥鐵桿木蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
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求助：做CVD用管式爐高手請(qǐng)進(jìn)！
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實(shí)驗(yàn)室主要燒管式爐做cvd，有臺(tái)雙溫區(qū)管式爐，見(jiàn)圖1、2，因?yàn)橐郧百I的時(shí)候廠家改造了尾部法蘭帶循環(huán)水制冷，所以我們平時(shí)做實(shí)驗(yàn)時(shí)是用把粉末等放到石英管再把石英管放入管式爐中的陶瓷管，防止多余粉末沉積到陶瓷管中，有循環(huán)水高溫做cvd就不怕尾部熱氣致使硅橡膠圈老化，因此不用爐塞。 但是小弟我最近買了臺(tái)單溫區(qū)管式爐，gsl-1400x，由于沒(méi)經(jīng)驗(yàn)，爐子到手后發(fā)現(xiàn)尾部無(wú)循環(huán)水制冷，工程師告訴我要用爐塞，單溫區(qū)管式爐陶瓷管才一米，塞上爐塞陶瓷管可用區(qū)域就很短了，溫度梯度區(qū)域完全無(wú)法用，因?yàn)槲覀儾幌攵嘤嗟姆勰┏练e到陶瓷管里。 現(xiàn)在的問(wèn)題是，找廠家說(shuō)現(xiàn)在標(biāo)配的都沒(méi)循環(huán)水法蘭，不知道大家的有沒(méi)有循環(huán)水？用沒(méi)用爐塞？有沒(méi)有人也買了合肥科晶的產(chǎn)品然后自己改裝了的？如果用循環(huán)水那石英管就沒(méi)法放了？ 雙溫區(qū)管式爐.jpg 2 法蘭帶循環(huán)水.jpg 剛買的單溫區(qū)管式爐.jpg 尾部無(wú)循環(huán)水.png |
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9樓2013-09-26 08:55:42
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10樓2013-09-26 09:37:44
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