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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 綜合其他 » HF酸洗Si片的問題
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[求助]
HF酸洗Si片的問題
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| 大家用HF酸清洗硅片用多大濃度的HF酸？清洗多長時間？具體講講清洗方法，我們是想去除Si表面的SiO2，但是又怕對Si基底造成損傷，使Si表面不平整。 |
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