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快樂的土豆金蟲 (初入文壇)
Michael
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[求助]
光刻膠和激光器的選擇
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| 我想制作一個周期大概600nm高幾十i納米的光柵，因沒怎么接觸過這個，求推薦合適波長和功率激光器（最好有型號和廠商），和光刻膠型號，另外，影響光刻膠性能參數(shù)的因素有什么？制作光柵的過程中影響光柵的高度和周期的參數(shù)有什么？能不能得到占空比可調(diào)的光柵？求解答 |
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2樓2013-10-14 12:36:52
快樂的土豆
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Michael
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3樓2013-10-14 14:19:29
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4樓2013-10-14 17:18:38
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快樂的土豆: 金幣+5, ★有幫助 2013-10-17 14:34:02
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| 哥們，你的光柵的周期是多少？如果是100nm一下，用激光聚光直接刻蝕恐怕很難做到。我是做激光干涉光刻的，即使使用激光干涉光刻也夠嗆能達(dá)到你要的要求，不過還是可以解決的就是比較繁瑣，而且能制備出這個尺寸的激光器一定是紫外激光器，深紫外激光器一定能做到，但是價格非常昂貴。光刻膠的性能參數(shù)確實很多，你可以自己搜一下，如果采用激光干涉光刻的方法的話，影響光柵的高度和周期的參數(shù)主要是激光器的波長和能量，通過改變?nèi)肷浣嵌�，改變占空比�? |
5樓2013-10-14 17:34:45
【答案】應(yīng)助回帖
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快樂的土豆: 金幣+5, ★有幫助 2013-10-17 14:33:50
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| 首先你要確定用什么光刻方法，現(xiàn)在光刻技術(shù)也有很多，比如傳統(tǒng)投影式光刻用的是汞燈的g,h,i 線，其波長都在紫外區(qū)，還有就是激光直寫，這個的話可以采用405nm的半導(dǎo)體激光器，不過光刻對激光器的要求挺高，比如功率穩(wěn)定性，光譜線寬，模式等，所以價格也不菲。還有就是樓上提到的激光干涉光刻，這個做周期性結(jié)構(gòu)（如光柵 ）比較好。光刻膠的話就要根據(jù)激光波長和你想要刻寫在什么材料上及腐蝕工藝。 |
6樓2013-10-17 11:18:55
快樂的土豆
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7樓2013-10-17 14:28:24
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8樓2013-10-17 14:30:47
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9樓2013-10-17 14:32:29
10樓2013-10-17 17:36:15
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