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[求助]
PLD制備薄膜成分偏析什么原因
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| 用PLD制備過兩種薄膜，YBCO和BST，成分都出現(xiàn)偏析。BST薄膜的與靶材成分比不合，但是能形成BST相；YBCO薄膜不能結(jié)晶，能譜顯示Ba缺失的比較嚴(yán)重。實(shí)驗(yàn)中激光能量密度沒確定，是否是能量不合適的緣故。 |
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