釋選

主管區(qū)長(zhǎng)

應(yīng)助: 0 (幼兒園)
金幣: 843.5
帖子: 59
在線: 24.4小時(shí)
蟲號(hào): 1423378

[交流] 硅微器件的鍵合封裝

最近開始關(guān)注硅微器件的鍵合封裝問題，想問大家有沒有好的博士論文或其他參考文獻(xiàn)以供參考，謝謝！

回復(fù)此樓

» 本帖已獲得的紅花（最新10朵）

靜靜一yi

» 猜你喜歡

化工學(xué)院（學(xué)院正式調(diào)劑群+聯(lián)系方式）已經(jīng)有0人回復(fù)
化工學(xué)院（學(xué)院官方群）-院士團(tuán)隊(duì)招生-學(xué)生自由度高-培養(yǎng)模式成熟高效已經(jīng)有0人回復(fù)
金屬材料論文潤(rùn)色/翻譯怎么收費(fèi)? 已經(jīng)有159人回復(fù)
黑龍江大學(xué)分析化學(xué)招調(diào)劑已經(jīng)有0人回復(fù)
武漢高校國(guó)家級(jí)人才團(tuán)隊(duì)招收材料，化學(xué)，紡織等專業(yè)碩士調(diào)劑生已經(jīng)有26人回復(fù)
紡大化工學(xué)院（官方群）-院士團(tuán)隊(duì)招生-學(xué)生自由度高發(fā)展好-培養(yǎng)模式成熟已經(jīng)有0人回復(fù)
溫州大學(xué)化材學(xué)院王娟課題組招生已經(jīng)有5人回復(fù)
學(xué)院官方群-院士團(tuán)隊(duì)招生-學(xué)生自由度高-培養(yǎng)模式成熟已有10余名學(xué)生赴985海外深造已經(jīng)有0人回復(fù)
武漢紡織大學(xué)化工學(xué)院官方群-院士團(tuán)隊(duì)招生-學(xué)生自由度高-10余名學(xué)生赴985海外深造已經(jīng)有0人回復(fù)
南昌航空大學(xué)蔣華麟教授課題組招收化學(xué)、環(huán)境、碳達(dá)峰碳中和及相關(guān)專業(yè)碩士信息已經(jīng)有0人回復(fù)
湖北師范大學(xué)復(fù)試調(diào)劑已經(jīng)有0人回復(fù)

» 搶金幣啦！回帖就可以得到:

查看全部散金貼

1樓 2013-10-21 10:08:43

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

yswyx

新蟲

★
小木蟲: 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖

鍵合工藝還是器件結(jié)構(gòu)？只關(guān)注氣密特性嗎？
wafer level packaging的資料太多了，google吧。

贊一下

回復(fù)此樓

» 本帖已獲得的紅花（最新10朵）

釋選

2樓2013-10-21 13:08:15

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

釋選

兌換貴賓

應(yīng)助: 0 (幼兒園)
金幣: 843.5
帖子: 59
在線: 24.4小時(shí)
蟲號(hào): 1423378

送紅花一朵

引用回帖:

2樓: Originally posted by yswyx at 2013-10-21 13:08:15
鍵合工藝還是器件結(jié)構(gòu)？只關(guān)注氣密特性嗎？
wafer level packaging的資料太多了，google吧。

鍵合工藝，氣密和低應(yīng)力，能是低溫的更好！
知道是有很多，但希望能夠找到經(jīng)典的幾篇以供詳讀。不知您是否能提供一些，謝謝！

贊一下

回復(fù)此樓

3樓2013-10-21 13:58:05

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

yswyx

無(wú)蟲

★ ★ ★
小木蟲: 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖
釋選: 金幣+2, 好建議 2013-10-21 21:12:07

引用回帖:

3樓: Originally posted by 釋選 at 2013-10-21 13:58:05
鍵合工藝，氣密和低應(yīng)力，能是低溫的更好！
知道是有很多，但希望能夠找到經(jīng)典的幾篇以供詳讀。不知您是否能提供一些，謝謝！...

低溫的話，要看日本東北大學(xué)他們關(guān)于低溫金屬擴(kuò)散鍵合的研究，他們是世界上第一個(gè)作出該類工藝的。我們是國(guó)內(nèi)第一個(gè)做這方面工作的：）

贊一下

回復(fù)此樓

5樓2013-10-21 17:41:18

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

紫纓涵

專家顧問

應(yīng)助: 108 (高中生)
金幣: 9745.2
帖子: 8410
在線: 261.2小時(shí)
蟲號(hào): 1987773

祝福~~~~~~~~~~~~~~~

贊一下

回復(fù)此樓

6樓2013-10-21 18:06:57

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

釋選

超級(jí)版主

應(yīng)助: 0 (幼兒園)
金幣: 843.5
帖子: 59
在線: 24.4小時(shí)
蟲號(hào): 1423378

引用回帖:

5樓: Originally posted by yswyx at 2013-10-21 17:41:18
低溫的話，要看日本東北大學(xué)他們關(guān)于低溫金屬擴(kuò)散鍵合的研究，他們是世界上第一個(gè)作出該類工藝的。我們是國(guó)內(nèi)第一個(gè)做這方面工作的：）...

你好，那其他的呢，我想知道的是硅硅的，或者硅玻璃的，以及兩者的優(yōu)缺點(diǎn)。如何更好的實(shí)現(xiàn)，特別是氣密和低應(yīng)力？

贊一下

回復(fù)此樓

8樓2013-10-21 20:54:24

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

靜靜一yi

無(wú)蟲

應(yīng)助: 61 (初中生)
金幣: 1334.7
帖子: 1316
在線: 195.8小時(shí)
蟲號(hào): 2025780

★
小木蟲: 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖

送紅花一朵

提供硅硅鍵合的硅片，玻璃片，鍵合機(jī)~~

蘇州銳材~

小楊

贊一下

回復(fù)此樓

9樓2013-10-21 21:53:06

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

ledlau

兌換貴賓

應(yīng)助: 24 (小學(xué)生)
金幣: 4066.4
帖子: 1463
在線: 331.1小時(shí)
蟲號(hào): 1278255

★
小木蟲: 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖

太多了，一搜一大把
推薦首先閱讀學(xué)習(xí)一下電子封裝手冊(cè)，以及半導(dǎo)體制造技術(shù)之類的書

贊一下

回復(fù)此樓

10樓2013-10-22 10:06:26

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

yswyx

新蟲

★
小木蟲: 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖

引用回帖:

8樓: Originally posted by 釋選 at 2013-10-21 20:54:24
你好，那其他的呢，我想知道的是硅硅的，或者硅玻璃的，以及兩者的優(yōu)缺點(diǎn)。如何更好的實(shí)現(xiàn)，特別是氣密和低應(yīng)力？...

硅硅的應(yīng)力最低，也可以實(shí)現(xiàn)低溫�？梢宰x一些Ziptronix公司的專利，也可以了解一些SOI的制造過程。
硅玻璃鍵合成本低，實(shí)現(xiàn)起來簡(jiǎn)單，但是應(yīng)力方面遠(yuǎn)不如硅硅。
氣密方面，兩者沒有本質(zhì)差別。

贊一下

回復(fù)此樓

» 本帖已獲得的紅花（最新10朵）

釋選

11樓2013-10-22 10:24:09

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

釋選

管理員

應(yīng)助: 0 (幼兒園)
金幣: 843.5
帖子: 59
在線: 24.4小時(shí)
蟲號(hào): 1423378

送紅花一朵

引用回帖:

11樓: Originally posted by yswyx at 2013-10-22 10:24:09
硅硅的應(yīng)力最低，也可以實(shí)現(xiàn)低溫�？梢宰x一些Ziptronix公司的專利，也可以了解一些SOI的制造過程。
硅玻璃鍵合成本低，實(shí)現(xiàn)起來簡(jiǎn)單，但是應(yīng)力方面遠(yuǎn)不如硅硅。
氣密方面，兩者沒有本質(zhì)差別。...

你好，硅硅鍵合時(shí)有時(shí)要進(jìn)行引線操作，這時(shí)好像就產(chǎn)生了硅金鍵合，它的鍵合情況呢？

贊一下

回復(fù)此樓

12樓2013-10-22 10:56:49

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖