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[交流]
有可以快速冷卻的LPCVD嗎?
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希望從1000攝氏度開始降溫時,每秒降10度以上,但我們的LPCVD只能自然降溫。問題來了: 請問LPCVD理論上就不可能快速降溫嗎?我的理解是,只有常壓CVD才能快速冷卻。低壓CVD因為在真空中,所以不能快速冷卻。我希望我錯了,請大神解答,真空中能快速冷卻嗎?謝謝。 |
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