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[求助]
關于非晶硅微晶硅疊層太陽電池制備過程中非晶硅晶化的問題
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疊層太陽電池，結構依次為玻璃/透明電極/非晶硅/隧道結/微晶硅/底電極，制備方法PECVD 前面沒有任何問題，但是在沉積微晶硅的過程中，頂電池出現晶化的現象，看了不少文章無法解決此問題 求達人推薦幾篇做的好的文章我來學習一下，最好附帶簡單說明 先謝過各路高手 |
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