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ALD制備氧化鋁(TMA和O3)出現(xiàn)不均勻情況 已有2人參與
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各位蟲(chóng)友,有做ALD得沒(méi),最近我們組在用ALD 制備氧化鋁出現(xiàn)很奇怪的現(xiàn)象,一直解決不了,采用TMA和O3制備Al2O3,長(zhǎng)出來(lái)的薄膜出現(xiàn)均勻性差的現(xiàn)象。 我們采用的是4英寸Si(100)襯底,靠近源進(jìn)氣口出Al2O3薄,襯底的后一半均勻性非常好,我們嘗試了各種方法,始終沒(méi)長(zhǎng)出整片均勻性比較好的Al2O3薄膜。 ALD生長(zhǎng)氧化鋁是一種最常見(jiàn)的方法,我們長(zhǎng)TiO2和稀土氧化物都沒(méi)出現(xiàn)這種不均勻的現(xiàn)象。 各位有做ALD的有出現(xiàn)過(guò)相似的情況沒(méi)有? |


金蟲(chóng) (小有名氣)
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