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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 學術討論 » 薄膜MEMS性能表征
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薄膜MEMS性能表征
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文章大修，有一條是讓我提供薄膜的MEMS方面的性能，如“deposition conformality, uniformity”等，請教 1. deposition conformality指的是什么，如何表征； 2. 我查找文獻有用“one sigma uniformity”表征uniformity的，請問如何計算one sigma，與6 sigma有何區(qū)別？ |
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qingpingzi
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2樓2013-10-31 15:11:51
3樓2013-10-31 18:11:09
qingpingzi
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4樓2013-11-08 11:29:48
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