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dxozw新蟲 (小有名氣)
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[交流]
求助：用ICP刻蝕硅片，幾十到幾百微米的溝槽，用什么做掩膜比較好？ 已有2人參與
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| 準(zhǔn)備在硅片上用ICP刻蝕幾十到幾百um的溝槽，用SiO2做掩膜可以嗎？大概流程操作是什么？求助大神~ |
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reninhat
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3樓2014-03-11 09:57:51
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