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arlene135新蟲(chóng) (初入文壇)
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[交流]
后烘溫度對(duì)SU-8光刻膠熱溶脹性及內(nèi)應(yīng)力的影響 已有1人參與
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想請(qǐng)問(wèn)各位大俠，我用的PMMA為 950K（正膠）,型號(hào)AR-R 672.03，PMMA固體含量3.0%，抗蝕劑的粘度為15.5mPas。 想涂100-200nm厚度，制造100nm線柵結(jié)構(gòu)，可是聽(tīng)說(shuō)前后烘會(huì)對(duì)結(jié)構(gòu)影響很多，只是不知道所謂的影響有沒(méi)有什么規(guī)律？ 我現(xiàn)在采用的是前烘180度，60s;后烘110度，90s，這個(gè)時(shí)間和膠的厚度有關(guān)系么？ |
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arlene135
新蟲(chóng) (初入文壇)
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2樓2013-12-04 10:34:53
q627030174
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3樓2019-03-19 21:49:21
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