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zhanglexi超級(jí)版主
小木蟲(chóng)路過(guò)之王
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[交流]
【求助】硅片如何切割？（用作ＣＶＤ法制備納米材料的基底）
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ＣＶＤ法制備納米材料，需要沉積在硅片上。各位蟲(chóng)蟲(chóng)有什么好方法把大的硅片切割整齊，分成小塊？ [ Last edited by caosw2001 on 2008-7-8 at 16:25 ] |
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4樓2007-12-30 20:34:06
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jackchen145(金幣+2,VIP+0):謝謝應(yīng)助，歡迎常來(lái)納米版！
jackchen145(金幣+2,VIP+0):謝謝應(yīng)助，歡迎常來(lái)納米版！
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硅片一般都是片層結(jié)構(gòu)，所以切割起來(lái)非常的困難，我們這邊一般都是直接掰碎，但是效果不好，硅片的表面上會(huì)附著很多細(xì)小的碎末，二樓的方法也試過(guò)，不過(guò)解決不了碎末的問(wèn)題。后來(lái)我嘗試用雙氧水+濃硫酸（體積比1：1）浸泡，超聲1個(gè)小時(shí)左右，超純水洗凈，然后用高純氮吹干，發(fā)現(xiàn)可以清洗掉大部分碎末。樓主可以試驗(yàn)一下。 還有，樓主可以考慮一下云母片，用完一層揭掉即可，也比較方便。 希望對(duì)你有幫助。  [ Last edited by leojackson on 2007-12-27 at 10:46 ] |
2樓2007-12-26 19:06:23
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10樓2008-01-11 19:11:55
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