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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 化學化工區(qū) » 工藝技術 » 膜技術 » 如何在薄膜上渡出歐姆接觸的Pt電極？
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fanglei0404新蟲 (小有名氣)
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[求助]
如何在薄膜上渡出歐姆接觸的Pt電極？
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| 我們用的是小型濺射儀，自身不具備退火功能，請問一下，如何在功函數(shù)比Pt或者Au小的膜上面鍍出歐姆接觸的電極？我們的尺寸比較小。0.1或者0.2mm。想用它測試電學特性，結果總是能測出電極跟上表面膜接觸形成的肖特基結，如何能避免這個問題呢？ |
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