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sophia81016新蟲 (初入文壇)
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[求助]
玻璃基板表面制作電極 已有3人參與
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| 本人現(xiàn)在要做一個(gè)LED封裝的課題，采用的基板是玻璃基板，現(xiàn)在需要在玻璃基板表面制作電極，請(qǐng)教各位蟲友，有什么辦法在玻璃表面制作電極？ |
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yswyx 
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3樓2013-12-19 16:36:37
sophia81016
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2樓2013-12-19 10:03:30
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4樓2013-12-20 15:50:24
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8樓2013-12-25 15:10:03
【答案】應(yīng)助回帖
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這要看你計(jì)劃制作什么樣的電極了。 通常，采用光學(xué)光刻的方法，形成電極圖形，然后進(jìn)行所謂金屬化，沉積一層Cr/Au薄膜，最后去膠剝離（lift-off)就可以了。注意，由于晶格匹配的要求，最好在金薄膜下面鋪墊一層粘結(jié)性的鉻金層或者鈦金薄膜。 此外，如果尺寸小于一個(gè)微米，那就得用電子束光刻或者激光束直寫方式來(lái)形成電極圖形。 最后有一種先進(jìn)的方法，就是采用所謂Stencil Lithography，可以利用預(yù)先在SiNx Stencil上制作好的電極圖形，直接通過(guò)淹摸版（Stencil）來(lái)蒸發(fā)沉積Cr/Au薄膜，形成電極。 |
9樓2014-01-16 21:52:05
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