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auliuym木蟲 (著名寫手)
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[求助]
硅晶片<100>上鍍一層聚苯乙烯膜 已有3人參與
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| 欲在硅晶片<100>上鍍一層聚苯乙烯膜，厚度無所謂，要求粗糙度和襯底一樣在納米級(jí)。本人按照文獻(xiàn)提供的方法配置2%PS甲苯溶液，用移液槍小心地滴在硅晶片上，鋪滿，但是保證不流下來，放在90攝氏度烘箱中讓甲苯揮發(fā)，得到的膜在燈光下觀察不光滑，具體表現(xiàn)是滑滑溜溜的，有樹根狀條紋，或者有像隕石坑一樣的好多圈，不知何故？望懂的教我，非常感謝。另，如果不放在90攝氏度下，自然揮發(fā)干，也不是很理想，現(xiàn)象如前面的一樣。備注，甲苯是分析純99.5%，聚苯乙烯購自美國，分子量125000～250000 |
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- 請(qǐng)問各位，如何使聚苯乙烯在晶片上成膜？
已經(jīng)有47人回復(fù)
7樓2013-12-28 09:20:35
saxon1234
木蟲 (著名寫手)
害蟲
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2樓2013-12-22 22:52:47
auliuym
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3樓2013-12-23 08:39:12
gxytju2008
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4樓2013-12-23 13:41:43
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