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matt_josie銀蟲(chóng) (小有名氣)
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[求助]
求問(wèn)下一般SEM中的EDS成分測(cè)試的測(cè)試深度問(wèn)題 已有2人參與
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我是做半導(dǎo)體薄膜的，膜的厚度在1-1.5微米之間，我想得到薄膜的整體成分問(wèn)題，同樣的樣品，我用EDS和ICP測(cè)試出來(lái)的數(shù)據(jù)有差距，不知道是不是因?yàn)镋DS的穿透深度不夠?qū)е碌膶?duì)薄膜的成分反應(yīng)不完全導(dǎo)致的的呢？ 我用的是JOEL的SEM，鎢燈絲的，電壓是20kV 求大神幫忙解答下~~ |
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gxytju2008
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3樓2014-01-02 08:43:54
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