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不同表征技術(shù)的scale有誤差嗎
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很多表征技術(shù)都會涉及到長度或厚度的scale問題，舉個例子，襯底上的一個多層結(jié)構(gòu)（有摻雜），用SIMS測量的厚度為4um，但用AFM對其斷面進(jìn)行測量卻是3.8或4.2um，甚至有更大的差別， 但這種差別是如何產(chǎn)生的，是完全由AFM和樣品本身造成的嗎？會跟SIMS有關(guān)嗎？SIMS的scale是根據(jù)什么實現(xiàn)的？ 提供幾種可能，不知道哪幾種有道理。 1. 樣品斷面可能會有beveling的問題，結(jié)果是導(dǎo)致AFM測量結(jié)果大于真實值。 2. AFM系統(tǒng)中Piezoelectric Scanners的特性也會有一些影響， 3. SIMS測量不能完全保證與樣品表面完全垂直，結(jié)果是導(dǎo)致SIMS測量結(jié)果比真實值大。在SIMS過程中會存在這個問題嗎？ |
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