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houhualong木蟲 (正式寫手)
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[求助]
關(guān)于斷面元素分布表征，EDS線掃可以嗎？還是SIMS（二次離子質(zhì)譜儀）？O(∩_∩)O謝謝 已有3人參與
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關(guān)于膜層斷面元素分布的表征，小弟先在基體上鍍了一層金屬膜，而后將表面膜層通過等離子體氧化，想看看氧化的膜層有多厚，即氧元素滲入多深，鍍的金屬膜大概800nm，EDS線掃可以嗎？誤差大不大？我看文獻(xiàn)上有用SIMS（二次離子質(zhì)譜儀）的？這個(gè)儀器是不是很高端？希望這方面的大神賜教！ |
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gxytju2008
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【答案】應(yīng)助回帖
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houhualong: 金幣+5, ★★★很有幫助, O(∩_∩)O謝謝，800w貌似也不便宜啊 2014-01-11 21:50:07
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houhualong: 金幣+5, ★★★很有幫助, O(∩_∩)O謝謝，800w貌似也不便宜啊 2014-01-11 21:50:07
| EDS不太行，尤其對(duì)O，信號(hào)太弱，誤差大，而且估計(jì)你氧化膜也不會(huì)太厚，EDS成像分辨率也不會(huì)很高，SIMS準(zhǔn)倒是沒問題，不過離子槍聚焦能力也不是很強(qiáng)，如果用SIMS我建議從正面打，一層層拋掉打譜，SIMS儀器比較小眾確實(shí)，有的地方比較少，倒也不是因?yàn)樘貏e貴，800w的樣子吧 |
2樓2014-01-11 20:43:12
gxytju2008
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3樓2014-01-11 21:52:24
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5樓2014-02-27 16:21:56
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